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L型MBE-400型分子束外延生長設備
編號:SN20151013153841637
類別:蒸發鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途

        用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

     

    設備組成

        該系統主要由外延生長室、制備室、快速進樣系統(進樣室)、真空獲得系統、進樣系統、傳輸導軌、高能電子衍射系統、電器控制系統、計算機控制系統等組成。

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